山东浪潮华光申请将晶圆分为N份固定尺寸的专利，提高对切割后单个晶粒的分离以及倒膜的效率

金融界2024年12月21日消息，国家知识产权局信息显示，山东浪潮华光光电子股份有限公司申请一项名为“一种将晶圆分为N份固定尺寸的装置及其工作方法”的专利，公开号 CN 119153380 A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明涉及一种将晶圆分为N份固定尺寸的装置及其工作方法，属于半导体设备领域，主框架顶部开设有圆孔，圆孔内安装有气缸，气缸的伸缩杆端部安装上压头；固定板底部设置有固定柱，用于安装不同尺寸的下压头；固定板安装于主框架内且位于下压头上方，固定板内部设置有一下沉区域，该下沉区域中心设置有孔洞，活动板放置于固定板的下沉区域内，并能够在下沉区域内活动；活动板中心设置有一贯穿的圆孔，圆孔上固定设置有用于夹取蓝膜的崩环。
本发明协助人工进行固定尺寸晶圆的分离作业装置，晶粒直接粘附到蓝膜上，提高了粘附效果，且能够实现晶粒的快速分离并对分离后单个晶粒的快速倒膜，提高对切割后单个晶粒的分离以及倒膜的效率。
本文源自：金融界作者：情报员

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